测量真空炉的温度均匀性

测量真空炉的温度均匀性

1. 准备工作
将测量热电偶及控温热电偶按GB/ J351 —1996 《中华人民共和国国家计量鉴定规程》中相关规定进行检测，检测合格方能进行炉温均匀性测定。自炉体拆下测温孔的盖板，将9 根经过检测合格的热电偶依次穿上密封垫圈、橡胶垫圈，自法兰孔中引入炉腔内，并依次按图1 位置固定在位于炉门口支撑架上，支撑架的尺寸为有效加热尺寸。将支撑架小心地移入炉腔内，放在炉床上，调整其位置，使之恰好与有效加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔，依次放入密封垫圈，橡胶垫圈上涂布真空脂，旋紧压紧螺栓，安装好法兰。按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空，直到工作真空度到达2 Pa 后，停机30 mi n ，观察真空计读数，看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之内，正常则继续进行炉温均匀性的测量，不正常则重新调整旋紧螺栓，重新测定压升率，直到正常，才能继续进行炉温均匀性的测定。
2. 测定过程
根据工艺需求进行选定测量温度点为650 ℃、850 ℃和1000 ℃，在FP21 控温仪表上，设定升温曲线。在控制偶到设定温度120min 后，开始测定各支热电偶的值。每隔5min 读取1 次，连续3 次，如果各点温度在所要求温度的±5 ℃ 以内，则此温度点测量完毕，否则继续等温，直到温度均匀或时间到达3h （ 工艺设定的保温时间） 为止并记录各点的温度。调整FP21 表，自650 ℃升温至850 ℃，保温120min，重复650 ℃温度点测量步骤。同样自850 ℃升温到1100 ℃，保温120min，重复650 ℃温度点测量步骤。以上数据分别填入记录表中，完成测定后，按正常的空炉冷却步骤进行降温。
3. 恢复设备
打开炉门，拉出测量支架，拆开固定热电偶的铁丝，拆下法兰盘，安装好原盖板，按正常使用进行压升率测试，按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空，直到工作真空度到达2Pa 后，停机30min，观察真空计读数，看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之内，合格则继续，设备可以正常使用，否则继续重新安装原测温口盖板。从测温法兰盘中拆下测量热电偶，注意抽出时要小心取直，以防止折断、损坏热电偶。